上海拓精工業測定儀器有限公司
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EVO掃描電鏡
蔡司 EVO 掃描電鏡
模塊化的 SEM 平臺適用于直觀操作、例行檢測和研究應用。在生命科學， 材料科學， 或例行的工業質量保證和失效分析領域，EVO都可以根據您的要求量身定制。
①顯微鏡中心或工業質量保證實驗室的多功能解決方案
②使用LaB6燈絲，能夠得到優異的圖像質量
③對不導電和無導電涂層的樣品的成像和分析性能
④可以配置多種分析探測器用于滿足各種顯微分析應用的需求
便捷的可用性：
簡單易學，減少了培訓所付出的努力和成本，甚至新用戶在幾分鐘內也能夠捕捉令人驚嘆的圖像。此用戶界面還支持，需要自動化工作流程，以執行可重復檢查任務的操作。
圖像質量：
EVO擅長于對未經處理和沒有導電涂層的樣品獲取高質量的數據。EVO還允許樣品保留其原始狀態， 維持含水和重污染樣品的數據質量。選用LaB6燈絲則能夠給予更好的分辨率、 對比度和信噪比。
智能導航與成像：
大大提高樣品的測試效率，以及更多的數據產出。
蔡司導航相機：
相機可以安裝在倉室前方，以監測樣品與背散射探測器以及物鏡底端之間的相對位置(倉室相機)；或安裝在真空室倉門上方 (導航相機)，利用俯視圖查看樣品臺上樣品的擺放位置。此視圖可用于設置從光學顯微鏡圖像中識別出的預定義位置， 并在整個樣品測試過程中導航。
自動化智能成像：
EVO實現了對樣品批量自動、無人值守的圖像采集。能夠自定義邊界區域，自動生成所需的視圖或放大倍數確定的感興趣區域，并開始自動獲取圖像。自動化智能成像將大大提高樣品的測試效率，以及更多的數據產出。
使用六硼化鑭電子發射器獲得圖像:
六硼化鑭陰極相較于傳統的鎢發夾燈絲所發射的電子能夠保證額外所需要的圖像質量。這種優勢體現在以下兩個方面:
1、在相等電子探針尺寸 (即分辨率) 下， 有更多探針電流可供使用， 從而使圖像導航和優化更容易。
2、在相等的探針電流 (信噪比) 下， 光斑直徑要小得多， 從而提高了圖像分辨率。
技術參數：
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蔡司EVO 10
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蔡司EVO 15
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選擇EVO 10（可選配BSD和EDS）
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EVO 15增加了對不導電樣品或零件的成像和分析的可變壓力模式
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最大樣品高度
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100 mm
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145 mm
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最大樣品直徑
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230 mm
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250 mm
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電動載物臺行程XYZ
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80 x 100 x 35 mm
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125 x 125 x 50 mm
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高真空模式 (HV)
導電樣品質量的成像與分析 |
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可變壓力模式 (VP)
不導電且不噴涂導電層樣品的高質量成像和分析
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擴展壓力模式 (EP)
含水或被污染的樣品在其自然狀態下成像 |
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EVO 應用案例
生產與裝配企業：
質量分析/質量控制；失效分析/金相分析；清潔度檢查；顆粒的形態和化學分析， 以滿足 ISO 16232 和 VDA 19 中1和2的標準；非金屬夾雜物的分析。
電子半導體：
目視檢查電子元件、集成電路、MEMS 器件和太陽能電池；銅絲表面及晶體結構的研究；金屬腐蝕研究 ；斷面失效分析；Wire bonding線腳檢查；電容表面成像。
鋼鐵和其它金屬：
對金屬樣品和夾雜物的結構、化學和結晶學進行成像和分析；相、顆粒、焊縫和失效分析。
原材料：
地質樣品的形態、礦物學和成分分析；對金屬、斷裂和非金屬夾雜物的結構進行成像和分析；微粉化和造粒過程中原料化學成分和活性成份的形態和成分分析。
材料科學研究：
用于研究導電和不導電材料樣品的特征。
生命科學：
對植物、動物和微生物的研究。
司法鑒定：
槍擊殘留物（GSR）；油漆和玻璃分析；鈔票和硬幣偽造；頭發和纖維比較；法醫毒理學。
